IDP Type Kjemisk Mekanisk Poleringsmaskin

Hver trykkplate av CP-serien kjemisk mekanisk poleringsmaskin med uavhengig kjøring av trykkplate drives av en separat servoreduser. I motsetning til måten den sentrale styrerulledrevne CP-maskinen drives av friksjon, kan den trykkplate-uavhengige drivende CP-maskinen realisere nøyaktig hastighetskontroll av trykkplaten. På samme tid, på grunn av strukturen for å unngå friksjonskontakt i poleringsområdet, reduseres genereringen av krystallpartikler av poleringsslurry. Dermed reduseres sannsynligheten for partikkelforurensning og riper på overflaten av waferen; Rotasjonshastigheten til hver trykkplate på IDP-maskinen kan stilles inn separat. I henhold til egenskapene til trykksylinderen til hver trykkplate, resulterer behandlingen i nesten null forskjell mellom forskjellige trykkplater ved finjustering av rotasjonshastigheten til trykkplatene.

For IDP-maskiner med stor størrelse, kan posisjonering og stasjonsbytte av keramiske plater realiseres ved å legge til interne og eksterne styreruller, for å realisere lasting og lossing på en stasjon. Den kan også realisere tilkoblingen av flere maskiner ved å integrere manipulator for å danne en automatisk produksjonslinje.

IDP TYPE CP-serien kjemisk mekanisk poleringsmaskin

Populære tags: idp type kjemisk mekanisk poleringsmaskin, Kina idp type kjemisk mekanisk poleringsmaskin produsenter, leverandører, fabrikk