MP-serien mekanisk poleringsmaskin
LSTD MP-seriens mekaniske poleringsmaskin er utviklet for å møte kravene til rask polering av superharde materialer. Utstyret bruker myk metallplate eller komposittplate og diamantslurry med spesifikk partikkelstørrelse, noe som kan få det behandlede arbeidsstykket til å nå speiloverflaten raskt. En annen betydelig fordel med mekanisk polering er at under forutsetning av god kontroll av plateformen, kan den oppnå en veldig flat arbeidsstykkeoverflate med nesten ingen kantkollaps. For arbeidsstykket (wafer) med epitaksial påføring, etter mekanisk polering, kan prosesstiden for kjemisk mekanisk polering forkortes kraftig, og kostnadene reduseres. MP-serien kjemisk mekanisk poleringsmaskin kan brukes til mekanisk polering av forskjellige superharde halvlederskiver som safir, silisiumkarbid og diamant, samt polering av andre superharde materialer som keramikk, sementert karbid og bråkjølt stål.
Som CP-serien kjemiske mekaniske poleringsmaskiner:
MP-seriens mekaniske poleringsmaskiner er også delt inn i tre samme modeller: basistype, trykkskive senterdrevet type (CD-type) og trykkplate-uavhengig drevet type (IDP-type) (se side 4; MP-seriens mekaniske poleringsmaskiner har en lignende struktur som CP serie kjemiske mekaniske poleringsmaskiner, men for å møte behovene til mekanisk polering, er MP-seriens mekaniske poleringsmaskiner utstyrt med poleringsplatevendingssystem for å spore platene.
IDP Type mekanisk poleringsmaskin:
IDP Type mekanisk poleringsmaskin kan også forbedre den mekaniske poleringsnøyaktigheten ytterligere ved å integrere svingfunksjonen til trykkplaten; For å løse problemene med ekspansjonsdeformasjon og hardhetsreduksjon av poleringsplate forårsaket av oppvarming generert av mekanisk polering, har LSTD utviklet en ny teknologi og søkt om patent som effektivt kan kontrollere plateoverflatetemperaturen, plateformen og platehardheten; For mekanisk polering av tredje generasjons halvledermaterialer som silisiumkarbid, diamant og andre wafere, kan denne teknologien effektivt løse problemene med mekanisk poleringseffektivitet og nøyaktighet.
BASIC TYPE MP-serien mekanisk poleringsmaskin
Type og spesifikasjon | MP-380B(V*) | MP-460B(V) | MP-610B(V) | MP-810B(V) | MP-910B(V) | MP-1280B(V) | MP-1500B(V) |
Diameter på poleringsplate | 381 mm | 460 mm | 598 mm | 796 mm | 898 mm | 1262 mm | 1480 mm |
Trykkplate diameter | 139 mm | 150 mm | 240 mm | 304,8 mm | 360mm/355mm | 485 mm | 576 mm |
Antall trykkplate | 3 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 |
Polerplate RPM | 10~160rpm | 10~160rpm | 10~115rpm | 10~87rpm | 10-80rpm | 10~64rpm | 10-54rpm |
Poleringstrykk (maks.) | 100 kg | 100 kg | 140 kg | 250 kg | 320 kg | 560 kg | 760 kg |
Motor kraft | 0.75kw | 1,5kw | 3kw | 5,5KW | 11kw | 22kw | 35kw |
Strømforsyning | 3PH,380V,50Hz | ||||||
Dimensjon | 1250L 770W 1560H | 1360L 850W 1650H | 1550L 900W 1700H | 1980L 920W 1900H | 2100L 1262W 2120H | 2550L 1670W 2200H | 3500L 2020W 2500H |
Vekt (ca...) | 420 kg | 720 kg | 1080 kg | 2200 kg | 2400 kg | 7300 kg | 9500 kg |
Wafer lastekapasitet | 2"-4stk/hode 2"-3stk/hode(V) | 2"-5stk/hode 2"-4stk/hode(V) | 2"-10stk/hode 4"-3stk/hode | 2"-14stk/hode 4"-5stk/hode 5"-3stk/hode | 4"-7stk/hode 5"-5stk/hode 6"-3stk/hode | 5"-8stk/hode 6"-6stk/hode 8"-3stk/hode | 6"-8stk/hode 8"-5stk/hode |
CD TYPE MP-serien mekanisk poleringsmaskin
Type og spesifikasjon | MP-380B-CD | MP-460B-CD | MP-610B-CD | MP-810B-CD |
Diameter på poleringsplate | 381 mm | 460 mm | 598 mm | 796 mm |
Trykkplate diameter | 139 mm | 150 mm | 240 mm | 304,8 mm |
Antall trykkplate | 3 | 4 | 4 | 4 |
Polerplate RPM | 10~160rpm | 10~160rpm | 10~115rpm | 10~87rpm |
Poleringstrykk (maks.) | 100 kg | 100 kg | 140 kg | 250 kg |
Senterdrevet motorkraft | 400W | 750KW | 1KW | 1,5KW |
Hovedmotorkraft | 0.75kw | 1,5KW | 3kw | 5,5KW |
Strømforsyning | 3PH,380V,50Hz | |||
Dimensjon | 1250L 770W 1560H | 1360L 850W 1650H | 1550L 900W 1700H | 1980L 920W 1900H |
Vekt (ca...) | 420 kg | 720 kg | 1080 kg | 2200 kg |
Wafer lastekapasitet | 2"-4stk/hode | 2"-5stk/hode | 2"-10stk/hode 4"-3stk/hode | 2"-14stk/hode 4"-5stk/hode 5"-3stk/hode |
Type og spesifikasjon | MP-910B-CD | MP-1280B-CD | MP-1500B-CD |
Diameter på poleringsplate | 898 mm | 1262 mm | 1480 mm |
Trykkplate diameter | 360mm / 355mm | 485 mm | 576 mm |
Antall trykkplate | 4 | 4 | 4 |
Polerplate RPM | 10-80rpm | 10~64rpm | 10-54rpm |
Poleringstrykk (maks.) | 320 kg | 560 kg | 760 kg |
Senterdrevet motorkraft | 2KW | 3,5KW | 5,5KW |
Hovedmotorkraft | 11kw | 22kw | 35kw |
Strømforsyning | 3PH,380V,50Hz | ||
Dimensjon | 2100L 1262W 2120H | 2550L 1670W 2200H | 3500L 2020W 2500H |
Vekt (ca...) | 2400 kg | 7300 kg | 9500 kg |
Wafer lastekapasitet | 4"-7stk/hode 5"-5stk/hode 6"-3stk/hode | 5"-8stk/hode 6"-6stk/hode 8"-3stk/hode | 6"-8stk/hode 8"5 stk/hode |
IDP TYPE MP-serien mekanisk poleringsmaskin
Type og spesifikasjon | MP-380B-IDP | MP-460B-IDP | MP-610B-IDP | MP-810B-IDP |
Diameter på poleringsplate | 381 mm | 460 mm | 598 mm | 796 mm |
Trykkplate diameter | 139 mm | 150 mm | 240 mm | 304,8 mm |
Antall trykkplate | 3 | 3 | 4 | 4 |
Polerplate RPM | 10~160rpm | 10~160rpm | 10~115rpm | 10~87rpm |
Poleringstrykk (maks.) | 100 kg | 100 kg | 140 kg | 250 kg |
Trykkplatedrevet Motorkraft | 200W | 200W | 400KW | 400KW |
Trykkplatens rotasjonshastighet | 0~200 rpm | 0~200 rpm | 0~100 rpm | 0~100 rpm |
Hovedmotorkraft | 0.75kw | 1,5kw | 3kw | 5,5KW |
Strømforsyning | 3PH,380V,50Hz | |||
Dimensjon | 950L 770W 1560H | 1100L 850W 1650H | 1350L 900W 1700H | 1600L 920W 1900H |
Vekt (ca...) | 350 kg | 350 kg | 980 kg | 1800 kg |
Wafer lastekapasitet | 2"-4stk/hode | 2"-4stk/hode | 2"-10stk/hode 4"-3stk/hode | 2"-14stk/hode 4"-5stk/hode 5"-3stk/hode |
Type og spesifikasjon | MP-910B-IDP | MP-1280B-IDP | MP-1500B-IDP |
Diameter på poleringsplate | 898 mm | 1262 mm | 1480 mm |
Trykkplate diameter | 360mm / 355mm | 485 mm | 576 mm |
Antall trykkplate | 4 | 4 | 4 |
Polerplate RPM | 10-80rpm | 10~64rpm | 10-54rpm |
Poleringstrykk (maks.) | 320 kg | 560 kg | 760 kg |
Trykkplatedrevet Motorkraft | 2KW | 1KW | 1,3KW |
Trykkplatens rotasjonshastighet | 2KW | 0~100 rpm | 0~100 rpm |
Hovedmotorkraft | 11kw | 22kw | 35kw |
Strømforsyning | 3PH,380V,50Hz | ||
Dimensjon | 1800L 1262W 2120H | 2180L 1670W 2200H | 2800L 2020W 2500H |
Vekt (ca...) | 2200 kg | 7000 kg | 8600kg |
Wafer lastekapasitet | 4"-7stk/hode 5"-5stk/hode 6"-3stk/hode | 5"-8stk/hode 6"-6stk/hode 8"-3stk/hode | 6"-8stk/hode 8"5 stk/hode |
Populære tags: mp-serien mekanisk poleringsmaskin, Kina mp-serien mekanisk poleringsmaskin produsenter, leverandører, fabrikk
Et par
neiNeste
neiDu kommer kanskje også til å like
Sende bookingforespørsel