CMP Pad Conditioner

Sende bookingforespørsel

produkt introduksjon

Padbalsamere brukes til kondisjonering av både poleringsputer og finpoleringsputer, ved å gjøre kondisjonering på disse putene kan putens flathet kontrolleres godt, og ruheten til overflaten av puten kan optimaliseres, og dermed kan geometripresisjonen til polerte wafere garanteres , og poleringseffektiviteten vil være mer stabil enn ikke-kondisjonerte puter, ofte, ved riktig påkledning med putebalsam, kan levetiden til poleringsputen forlenges til opptil 30 prosent ~50 prosent.

Padbalsamere er nyttige i både enkeltsidepoleringsprosessen og dobbeltsidepoleringsprosessen. For hvert formål har den mange mulige design som kan gi forskjellige resultater, uansett hvilken design vi bruker, flathetskontroll, parallismekontroll og diamantbindingsstyrkekontroll blir alltid strengt utført uten kompromisser.

Balsam for enkel sidepute

Dobbel sidepute-kondisjoneringsenhet

Klesplate med keramisk polerduk brukes også til dressing av poleringspute. I den innledende fasen av bruken av poleringsputen kan denne putedresseren brukes til å kle poleringsputen for å oppnå en god klebende bakside og kontrollere flatheten til poleringsputen.